Merit Sensor Systems 製

シリコンMEMS圧力センサ
 

独自技術（Sentium TechnologyTM）により、高機能で安定した特性を広い温度範囲で実現します
 

▋Merit Sensor 製品の特長
－４０～＋１５０℃で高機能を提供するＭＥＭＳ圧力センサ. ０.０７ＫＰａ～１００ＭＰａまでカバーするセンサチップ、温度非補償アセンブル品からＩ２Ｃ出力の完全温度補償モジュールまでを揃えています. 一般産業機器、自動車機器、医療機器向けで実績があります。

ファインセンシング(株)はMerit Sensor Systemsの正規代理店です. お問合せはこちらまで.

▋製品ラインアップ
製品名 圧力感度レンジ [psi/ (kPa) ] サイズ 備　考
センサチップ  3000 シリーズ 5～100 psi (34.5～689 kPa)  3.3x2.5 mm 低圧用
J シリーズ 5～100 psi (34.5～689 kPa) 1.95x1. 95mm 低圧用
7000 シリーズ 15～500 psi (103～3,447 kPa) 2,2x1.6 mm 中圧用
AP301 シリーズ 100～1,000 psi (689～6,895 kPa) 2.8x2.2 mm 中圧用
5000 シリーズ 1,000～10,000 psi (6,895～68,948 kPa) 1.9x1.6 mm 高圧用 (絶対圧のみ)
K シリーズ 1,000～10,000 psi  (6,895～68.948 kPa)  1.4x1.4 mm  高圧量産用（絶対圧のみ）
HM シリーズ 100～100 psi (700～3,447 kPa) 2.2x1.9 mm 低/中圧 (活性薬液/ガス用)
L シリーズ  0.15～1 psi (1～6.89 kPa) 3.3x3.3 mm 超低圧用
超低圧
センサパッケージ 		 LP1400シリーズ  0.15～1 psi (1～6.89 kPa    非補償,差圧/ゲージ 
LP4100シリーズ  0.15～1 psi (1～6.89 kPa    圧力・温度補償アナログ出力
差圧/ゲージ 
LP1420シリーズ  0.15～ 1psi  (1～6.89 kPa    圧力・温度補償デジタル出力
差圧/ゲージ 
温度補償型
センサパッケージ		 AP シリーズ -15～30 psi (-103～2,068 kPa) 12.4x14.3 mm レーザトリム(室温)校正済み
(ゲージ圧のみ)
センサパッケージ
(非温度補償型)  		 SMD シリーズ 5～500 psi (34.5～3,447 kPa) 7.6x7.6 mm 微/中圧用、表面実装向け
MS シリーズ 15～500 psi (103～3,447kPa) 6.4x6.4mm 微/中圧用、表面実装向け
PMD シリーズ 5～50 psi (34.5～345 kPa) 8.1x7.6 mm 微圧用、スルーホール実装
血圧用センサ BP シリーズ -30～300 mmHg (-4～40 kPa) 10.5x8.1 mm 血圧測定用、高圧にも対応
デジタル出力
センサモジュール		 TRシリーズ 30～300 psi (206～2068 kPa) 12.76x10.2 自動車、産業機器向け
TR評価キット  MeriTREK         


▋ＭＥＭＳ圧力センサチップ

▍低圧

 3000 シリーズ



圧力センサチップ：3000シリーズ
圧力レンジ：   5～100 psi / 34.5～689 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ：   2,2x1.6 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス：    ±0.2 (%FSO) @無負荷
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.2 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.2 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様 カタログダウンロード

▍低圧- 3000シリーズより広い圧力レンジをカバー

 Jシリーズ
圧力レンジ：   1～300 psi / 75～2100 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ：   1,95x1.95 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2 (%FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス：    ±0.2 (%FSO) @無負荷, -40～150℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2500(min)～3500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.2 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.2 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様 カタログダウンロード

▍中圧

 7000 シリーズ



圧力センサチップ：7000シリーズ
圧力レンジ：   15～500 psi / 103～3,447 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ：   3.3x2.5 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.1 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様   カタログダウンロード

▍中圧

 AP301 シリーズ



圧力センサチップ：AP301シリーズ
圧力レンジ：   100～1,000 psi / 689～6,895 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ：   2.8x2.2 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.15( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.05 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.1 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様    カタログダウンロード

▍高圧

 5000 シリーズ



圧力センサチップ：5000シリーズ
圧力レンジ：   1,000～10,000 psi / 6,895～68,948 kPa
チップ種別：   絶対圧のみ 
チップサイズ：   1.42x1.42 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.15( %FSO) @25℃
(>5000) ±0.35 (%FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.05 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.1 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様   カタログダウンロード

▍高圧 - 量産向け

 Kシリーズ
圧力レンジ：   1,000～10,000 psi / 6,895～68,948 kPa
チップ種別：   絶対圧のみ 
チップサイズ：   1.9x1.6 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.05 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス：    ±0.1 (%FSO) @無負荷時 
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3200(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～150℃
温度ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.1 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様   カタログダウンロード

▍過酷な流体向け

 HM シリーズ



圧力センサチップ：HMシリーズ
圧力レンジ：   100～500 psi / 689,5～3,447 kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧
チップサイズ：   2.2x1.9 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性： ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃) @-40～150℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃))
@-40～150℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃))
@-40～150℃
温度ヒステリシス： ±012 (%FSO) @無負荷
検出対象： 浄/乾燥空気、非腐食性ガス
仕様オプション   感度レンジ： 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様   カタログダウンロード

▍超低圧 

 L シリーズ
圧力レンジ：   0.15～1 psi / 1～6.89 kPa
チップ種別：   ゲージ圧、差圧
チップサイズ：   3.32x3.3 mm
動作温度： -40～150℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性： ±0.25( %FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性：   ゼロポイント ±25 (μV/V/℃) @-25～75℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-25～75℃
感度(1 kPa) -2500～-3500 (ppm/℃)) @-25～75℃
感度
(1.4～6.9 kPa)		 -2000～-3000 (ppm/℃)) @-25～75℃
長期安定性： ±0.25 (%FSO) @無負荷
検出対象： 浄/乾燥空気、非腐食性ガス
仕様オプション   感度レンジ： 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション：   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様   カタログダウンロード


▋圧力センサモジュール/アセンブリ 

▍超低圧 - 非補償センサパッケージ

 LP1400 シリーズ




差圧パッケージ

ゲージ圧パッケージ
圧力レンジ：   0.15～1 psi / 1～6.89 kPa
チップ種別：   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償：
   非補償
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 (mV/V) @０点、ゲージのみ, 25℃
非線形性： ±0.25( %FSO)、best Fit Straight Line @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±20 (μV/V/℃) @-25～75℃
抵抗値 2000(min)～3000(max) (ppm/℃)) @-25～75℃
感度 -2500(min)～-3000(max) (ppm/℃)) @-25～75℃
長期安定性： ±0.25 (%FSO) @125℃
保証圧力    5x 
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
ポートオプション   デュアル
ポート		 差圧： 水平ポート / 垂直ポート
シングル
ポート		 ゲージ圧： トップキャップ、水平 / 垂直ポート
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
詳細仕様   カタログダウンロード

▍超低圧 - 温度・圧力補償 アナログ出力パッケージ

 LP1410 シリーズ




差圧パッケージ

ゲージ圧パッケージ
圧力レンジ：   0.15～1 psi / 1～6.89 kPa
チップ種別：   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償：
   温度・圧力補償
動作温度： -40～85℃
入力電圧：    5V (4.75～5.25V) 
入力電流：    1mA (5V入力時)、(0.25～1V可) 
ADC分解能： 12ビット
レシオメトリック出力 0.5～4.5V (5V入力時)
精度： ±1.5 %FSO (0～60℃、Vdd = 4.75～5.25V)
起動時間： 8 ms
アナログ更新時間： 5 ms
サンプリング：    最大200Hz
保証圧力    5x 
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
ポートオプション   デュアル
ポート		 差圧： 水平ポート / 垂直ポート
シングル
ポート		 ゲージ圧： トップキャップ、水平 / 垂直ポート
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
詳細仕様   カタログダウンロード

▍超低圧 - 温度・圧力補償デジタル出力パッケージ

 LP1420 シリーズ




差圧パッケージ

ゲージ圧パッケージ
圧力レンジ：   0.15～1 psi / 1～6.89 kPa
チップ種別：   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償：
   温度・圧力補償
動作温度： -40～85℃
入力電圧：    4.5～5.5V 
入力電流：    3 mA (5V入力時)
圧力ADC分解能：    14ビット 
圧力精度： ±1.5 %FSO (0～60℃、Vdd = 4.75～5.25V)
起動時間： 15 ms
デジタル更新時間： 0.5～125 ms
サンプリング：    最大200Hz
保証圧力    5x 
検出対象： 非腐食性・乾燥ガス
ポートオプション   デュアル
ポート		 差圧： 水平ポート / 垂直ポート
シングル
ポート		 ゲージ圧： トップキャップ、水平 / 垂直ポート
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
詳細仕様   カタログダウンロード

▍レーザトリミング補償タイプ 圧力センサセンブリ - 量産向け

 AP シリーズ



圧力センサチップ：APシリーズ
圧力レンジ：   -15～300psi / -103～2,068kPa
チップ種別：   ゲージ圧のみ 
パッケージサイズ：   12.45x14.73mm
動作温度： 10～40℃
オフセット： 4.5(min)～7.5 (mV/5V)
感度： 64.868～66.178 (μV/v/℃)
線形性：  ±1( %FSO)
ヒステリシス： ±1 (%FSO)
精度（※）：    ±2 (%FSO)
※）25℃-１５℃間および25℃-４０℃間で、感度、再現性、非線形性、ヒステリシス全ての変動を統合した値.
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
パッケージ ジェル充填、セラミック基板実装
詳細仕様   カタログダウンロード

▍非補償タイプ 圧力センサアセンブリ - 量産向け

 SMD シリーズ



圧力センサチップ：SMDシリーズ
圧力レンジ：   5～500psi / 34.5～3,447kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
パッケージサイズ：   7.6x7.6mm
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
温度ヒステリシス： ±0.2 (%FSO) @無負荷
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   感度レンジ： 5psi / 15psi / 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Closed
パッケージオプション：   面実装用、丸形セラミックキャップ / 角形セラミックキャップ
詳細仕様   カタログダウンロード


 MS シリーズ



圧力センサチップ：MSシリーズ
圧力レンジ：   15～500psi / 103～3,447kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
パッケージサイズ：   6.4x6.4mm
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
温度ヒステリシス： ±0.2 (%FSO) @無負荷
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   感度レンジ： 15psi / 100psi / 1200psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Closed
パッケージオプション：   面実装用、丸形セラミックキャップ / 角形セラミックキャップ
詳細仕様   カタログダウンロード


 PMD シリーズ



圧力センサチップ：PMDシリーズ
圧力レンジ：   5～50psi / 34.5～345kPa
チップ種別：   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
パッケージサイズ：   8.1x7.6mm
動作温度： -40～85℃
オフセット： ±5 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性：  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス： ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性： ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40～85℃
抵抗値 2300(min)～3300(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
感度 -1500(min)～-2500(max) (ppm/℃)) @-40～85℃
温度ヒステリシス： ±0.25 (%FSO) @無負荷
長期安定性： ±0.25 (%FSO)
検出対象： 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション     ブリッジ抵抗 カスタム対応可能 
ブリッジタイプ カスタム対応可能
詳細仕様   カタログダウンロード

▍血圧用・圧力センサパッケージ - 量産向け

 BP シリーズ



圧力センサチップ：BPシリーズ
圧力レンジ：   -30～300mmHg / -4～40kPa
チップ種別：   ゲージ圧のみ 
パッケージサイズ：   10.5x8.1mm
動作温度： 15～40℃
動作湿度： 10～90%RH
オフセット： ±25 (mmHg) @無負荷
感度：  4.95～5.05 (μV/V/mmHg)
校正： 97.5～102.5 (mmHg)
温度特性： ゼロポイント ±3 (mmHg/℃)
感度 ±0.1 (%/℃)
オフセット・ドリフト： 1 (mmHg/8hrs)
検出対象： 血液 
パッケージオプション： ジェル充填、セラミック基板実装
詳細仕様 カタログダウンロード

▍完全補償型・デジタル出力・センサモジュール

 TR シリーズ



圧力センサチップ：BPシリーズ
圧力レンジ：   30～300psi / 206.8～2068kPa
チップ種別：   絶対圧のみ（標準） 
パッケージサイズ：   12.7x10.2 mm
動作温度： -40～150℃
出力レンジ： 10～90 (%Vdd)
出力分解能：  0.1～0.02 (%FS)
トータル精度： -2.5～2.5 (%FS)
長期ドリフト： <5 (%FS)
繰り返し精度： <0.25 (%FS)
詳細仕様 カタログダウンロード
本文へジャンプ