Merit Sensor Systems

シリコンMEMS圧力センサ

 

独自技術(Sentium TechnologyTM)により、高機能で安定した特性を広い温度範囲で実現します

 

Merit Sensor 製品の特長

-40~+150℃で高機能を提供するMEMS圧力センサ. 0.07KPa~100MPaまでカバーするセンサチップ、温度非補償アセンブル品からIC出力の完全温度補償モジュールまでを揃えています. 一般産業機器、自動車機器、医療機器向けで実績があります。

ファインセンシング(株)はMerit Sensor Systemsの正規代理店です. お問合せはこちらまで.


センサエキスポジャパン2016 出展情報 - ブース番号 S-05


センサエキスポジャパン2016において、メリット・センサ (Merit Sensor Systems Inc.) と共同出展致します。
ファインセンシング / メリットセンサ ブースS-05 ※東5ホール 入口スグ右側 ⇒出展情報
皆様のお越しをお持ち申し上げております。

製品ラインアップ

製品名 圧力感度レンジ [psi/ (kPa) ] サイズ 備 考
センサチップ  3000 シリーズ 5~100 psi (34.5~689 kPa)  3.3x2.5 mm 低圧用
J シリーズ 5~100 psi (34.5~689 kPa) 1.95x1. 95mm 低圧用
7000 シリーズ 15~500 psi (103~3,447 kPa) 2,2x1.6 mm 中圧用
AP301 シリーズ 100~1,000 psi (689~6,895 kPa) 2.8x2.2 mm 中圧用
5000 シリーズ 1,000~10,000 psi (6,895~68,948 kPa) 1.9x1.6 mm 高圧用 (絶対圧のみ)
K シリーズ 1,000~10,000 psi  (6,895~68.948 kPa)  1.4x1.4 mm  高圧量産用(絶対圧のみ)
HM シリーズ 100~100 psi (700~3,447 kPa) 2.2x1.9 mm 低/中圧 (活性薬液/ガス用)
L シリーズ  0.15~1 psi (1~6.89 kPa) 3.3x3.3 mm 超低圧用
超低圧
センサパッケージ
 
LP1400シリーズ  0.15~1 psi (1~6.89 kPa    非補償,差圧/ゲージ 
LP4100シリーズ  0.15~1 psi (1~6.89 kPa    圧力・温度補償アナログ出力
差圧/ゲージ 
LP1420シリーズ  0.15~ 1psi  (1~6.89 kPa    圧力・温度補償デジタル出力
差圧/ゲージ 
温度補償型
センサパッケージ
AP シリーズ -15~30 psi (-103~2,068 kPa) 12.4x14.3 mm レーザトリム(室温)校正済
(ゲージ圧のみ)
センサパッケージ
(非温度補償型)
  
SMD シリーズ 5~500 psi (34.5~3,447 kPa) 7.6x7.6 mm 微/中圧用、表面実装向け
MS シリーズ 15~500 psi (103~3,447kPa) 6.4x6.4mm 微/中圧用、表面実装向け
PMD シリーズ 5~50 psi (34.5~345 kPa) 8.1x7.6 mm 微圧用、スルーホール実装
血圧用センサ BP シリーズ -30~300 mmHg (-4~40 kPa) 10.5x8.1 mm 血圧測定用、高圧にも対応
デジタル出力
センサモジュール
TRシリーズ 30~300 psi (206~2068 kPa) 12.76x10.2 自動車、産業機器向け
TR評価キット  MeriTREK         


MEMS圧力センサチップ

低圧


 3000 シリーズ



圧力センサチップ:3000シリーズ
圧力レンジ:   5~100 psi / 34.5~689 kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ:   2,2x1.6 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス:    ±0.2 (%FSO) @無負荷
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
温度ヒステリシス: ±0.2 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.2 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様 カタログダウンロード

低圧- 3000シリーズより広い圧力レンジをカバー


 Jシリーズ




圧力レンジ:   1~300 psi / 75~2100 kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ:   1,95x1.95 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2 (%FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス:    ±0.2 (%FSO) @無負荷, -40~150℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~150℃
抵抗値 2500(min)~3500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
温度ヒステリシス: ±0.2 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.2 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様 カタログダウンロード

中圧


 7000 シリーズ



圧力センサチップ:7000シリーズ
圧力レンジ   15~500 psi / 103~3,447 kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ:   3.3x2.5 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
温度ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.1 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
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中圧


 AP301 シリーズ



圧力センサチップ:AP301シリーズ
圧力レンジ   100~1,000 psi / 689~6,895 kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
チップサイズ:   2.8x2.2 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.15( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.05 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
温度ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.1 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
詳細仕様    カタログダウンロード

高圧


 5000 シリーズ



圧力センサチップ:5000シリーズ
圧力レンジ   1,000~10,000 psi / 6,895~68,948 kPa
チップ種別:   絶対圧のみ 
チップサイズ:   1.42x1.42 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.15( %FSO) @25℃
(>5000) ±0.35 (%FSO) @25℃
ヒステリシス: ±0.05 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
温度ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.1 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
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高圧 - 量産向け


 Kシリーズ




圧力レンジ   1,000~10,000 psi / 6,895~68,948 kPa
チップ種別:   絶対圧のみ 
チップサイズ:   1.9x1.6 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.05 (%FSO) @25℃
温度ヒステリシス:    ±0.1 (%FSO) @無負荷時 
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3200(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~150℃
温度ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.1 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
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過酷な流体向け


 HM シリーズ



圧力センサチップ:HMシリーズ
圧力レンジ   100~500 psi / 689,5~3,447 kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧
チップサイズ:   2.2x1.9 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性: ±0.2( %FSO) @25℃
圧力ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃) @-40~150℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃))
@-40~150℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃))
@-40~150℃
温度ヒステリシス: ±012 (%FSO) @無負荷
検出対象: 浄/乾燥空気、非腐食性ガス
仕様オプション   感度レンジ: 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
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超低圧 


 L シリーズ




圧力レンジ   0.15~1 psi / 1~6.89 kPa
チップ種別:   ゲージ圧、差圧
チップサイズ:   3.32x3.3 mm
動作温度: -40~150℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性: ±0.25( %FSO) @25℃
ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性:   ゼロポイント ±25 (μV/V/℃) @-25~75℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-25~75℃
感度(1 kPa) -2500~-3500 (ppm/℃)) @-25~75℃
感度
(1.4~6.9 kPa)
-2000~-3000 (ppm/℃)) @-25~75℃
長期安定性: ±0.25 (%FSO) @無負荷
検出対象: 浄/乾燥空気、非腐食性ガス
仕様オプション   感度レンジ: 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
出荷オプション:   伸縮テープ / ワッフルパック
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圧力センサモジュール/アセンブリ 

超低圧 - 非補償センサパッケージ


 LP1400 シリーズ




差圧パッケージ

ゲージ圧パッケージ
圧力レンジ   0.15~1 psi / 1~6.89 kPa
チップ種別:   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償:
  非補償
動作温度: -40~85℃
オフセット: ±10 (mV/V) @0点、ゲージのみ, 25℃
非線形性: ±0.25( %FSO)、best Fit Straight Line @25℃
ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±20 (μV/V/℃) @-25~75℃
抵抗値 2000(min)~3000(max) (ppm/℃)) @-25~75℃
感度 -2500(min)~-3000(max) (ppm/℃)) @-25~75℃
長期安定性: ±0.25 (%FSO) @125℃
保証圧力    5x 
検出対象: 非腐食性・乾燥ガス
ポートオプション   デュアル
ポート
差圧: 水平ポート / 垂直ポート
シングル
ポート
ゲージ圧: トップキャップ、水平 / 垂直ポート
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
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超低圧 - 温度・圧力補償 アナログ出力パッケージ


 LP1410 シリーズ




差圧パッケージ

ゲージ圧パッケージ
圧力レンジ   0.15~1 psi / 1~6.89 kPa
チップ種別:   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償:
  温度・圧力補償
動作温度: -40~85℃
入力電圧:    5V (4.75~5.25V) 
入力電流:    1mA (5V入力時)、(0.25~1V可) 
ADC分解能: 12ビット
レシオメトリック出力 0.5~4.5V (5V入力時)
精度: ±1.5 %FSO (0~60℃、Vdd = 4.75~5.25V)
起動時間: 8 ms
アナログ更新時間: 5 ms
サンプリング:    最大200Hz
保証圧力    5x 
検出対象: 非腐食性・乾燥ガス
ポートオプション   デュアル
ポート
差圧: 水平ポート / 垂直ポート
シングル
ポート
ゲージ圧: トップキャップ、水平 / 垂直ポート
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
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超低圧 - 温度・圧力補償デジタル出力パッケージ


 LP1420 シリーズ




差圧パッケージ

ゲージ圧パッケージ
圧力レンジ   0.15~1 psi / 1~6.89 kPa
チップ種別:   ゲージ圧、差圧
温度・圧力補償:
  温度・圧力補償
動作温度: -40~85℃
入力電圧:    4.5~5.5V 
入力電流:    3 mA (5V入力時)
圧力ADC分解能:    14ビット 
圧力精度: ±1.5 %FSO (0~60℃、Vdd = 4.75~5.25V)
起動時間: 15 ms
デジタル更新時間: 0.5~125 ms
サンプリング:    最大200Hz
保証圧力    5x 
検出対象: 非腐食性・乾燥ガス
ポートオプション   デュアル
ポート
差圧: 水平ポート / 垂直ポート
シングル
ポート
ゲージ圧: トップキャップ、水平 / 垂直ポート
ブリッジタイプ Open / Half Bridge / Closed
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レーザトリミング補償タイプ 圧力センサセンブリ - 量産向け


 AP シリーズ



圧力センサチップ:APシリーズ
圧力レンジ   -15~300psi / -103~2,068kPa
チップ種別:   ゲージ圧のみ 
パッケージサイズ:   12.45x14.73mm
動作温度: 10~40℃
オフセット: 4.5(min)~7.5 (mV/5V)
感度: 64.868~66.178 (μV/v/℃)
線形性:  ±1( %FSO)
ヒステリシス: ±1 (%FSO)
精度(※):    ±2 (%FSO)
※)25℃-15℃間および25℃-40℃間で、感度、再現性、非線形性、ヒステリシス全ての変動を統合した値.
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
パッケージ ジェル充填、セラミック基板実装
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非補償タイプ 圧力センサアセンブリ - 量産向け


 SMD シリーズ



圧力センサチップ:SMDシリーズ
圧力レンジ   5~500psi / 34.5~3,447kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
パッケージサイズ:   7.6x7.6mm
動作温度: -40~85℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~85℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~85℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~85℃
温度ヒステリシス: ±0.2 (%FSO) @無負荷
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   感度レンジ: 5psi / 15psi / 100psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Closed
パッケージオプション:   面実装用、丸形セラミックキャップ / 角形セラミックキャップ
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 MS シリーズ



圧力センサチップ:MSシリーズ
圧力レンジ   15~500psi / 103~3,447kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
パッケージサイズ:   6.4x6.4mm
動作温度: -40~85℃
オフセット: ±10 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~85℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~85℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~85℃
温度ヒステリシス: ±0.2 (%FSO) @無負荷
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション   感度レンジ: 15psi / 100psi / 1200psi / 300psi / 500psi
ブリッジ抵抗 5kΩ / 3.5kΩ
ブリッジタイプ Closed
パッケージオプション:   面実装用、丸形セラミックキャップ / 角形セラミックキャップ
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 PMD シリーズ



圧力センサチップ:PMDシリーズ
圧力レンジ   5~50psi / 34.5~345kPa
チップ種別:   絶対圧、ゲージ圧、差圧、負圧 
パッケージサイズ:   8.1x7.6mm
動作温度: -40~85℃
オフセット: ±5 (mV/V) @無負荷, 25℃
非線形性:  ±0.2( %FSO) @25℃
ヒステリシス: ±0.1 (%FSO) @25℃
温度特性: ゼロポイント ±25 (μV/V/℃)) @-40~85℃
抵抗値 2300(min)~3300(max) (ppm/℃)) @-40~85℃
感度 -1500(min)~-2500(max) (ppm/℃)) @-40~85℃
温度ヒステリシス: ±0.25 (%FSO) @無負荷
長期安定性: ±0.25 (%FSO)
検出対象: 清浄/乾燥空気、非腐食性ガス 
仕様オプション     ブリッジ抵抗 カスタム対応可能 
ブリッジタイプ カスタム対応可能
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血圧用・圧力センサパッケージ - 量産向け


 BP シリーズ



圧力センサチップ:BPシリーズ
圧力レンジ   -30~300mmHg / -4~40kPa
チップ種別:   ゲージ圧のみ 
パッケージサイズ:   10.5x8.1mm
動作温度: 15~40℃
動作湿度: 10~90%RH
オフセット: ±25 (mmHg) @無負荷
感度:  4.95~5.05 (μV/V/mmHg)
校正: 97.5~102.5 (mmHg)
温度特性: ゼロポイント ±3 (mmHg/℃)
感度 ±0.1 (%/℃)
オフセット・ドリフト: 1 (mmHg/8hrs)
検出対象: 血液 
パッケージオプション: ジェル充填、セラミック基板実装
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完全補償型・デジタル出力・センサモジュール


 TR シリーズ



圧力センサチップ:BPシリーズ
圧力レンジ   30~300psi / 206.8~2068kPa
チップ種別:   絶対圧のみ(標準) 
パッケージサイズ:   12.7x10.2 mm
動作温度: -40~150℃
出力レンジ: 10~90 (%Vdd)
出力分解能:  0.1~0.02 (%FS)
トータル精度: -2.5~2.5 (%FS)
長期ドリフト: <5 (%FS)
繰り返し精度: <0.25 (%FS)
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